Nr. | Название главы | Стр. |
IEVADS | 4 | |
TĒMAS AKTUALITĀTE | 4 | |
ТEHNISKAIS VAKUUMS | 6 | |
FIZISKAIS VAKUUMS | 7 | |
FIZIKAS VAKUUMA METODES | 8 | |
1. | UZ FIZIKĀLAJĀM METODĒM ATTIECAS | 8 |
1.1. | ТERMOVAKUUMĀLĀ APSMIDZINĀŠANA | 8 |
1.2. | JONU-PLAZMAS METODES PLĀNO PLĒVJU IEGŪŠANAI | 8 |
1.2.1. | КАTODĀLĀ APSMIDZINĀŠANA | 8 |
1.2.2. | ТRĪSELEKTRODU APSMIDZINĀŠANAS SISTĒMA | 8 |
1.2.3. | AUGSTFREKVENČU APSMIDZINĀŠANA | 8 |
1.2.4. | REAKTĪVĀ APSMIDZINĀŠANA | 8 |
1.2.5. | МАGNETRONĀ APSMIDZINĀŠANA | 8 |
1.3. | JONU-STARU METODES PLĀNO PLĒVJU IEGŪŠANAI | 8 |
1.4. | МOLEKULĀRĀ-STARU EPITAKSIJA | 8 |
1.5. | LĀZERĀ APSMIDZINĀŠANA | 8 |
2. | UZ KĪMISKAJĀM VAKUUMA METODĒM ATTIECAS | 8 |
2.1. | REAKTĪVĀ KATODU APSMIDZINĀŠANA | 8 |
2.2. | GĀZFĀŽ MOS-HIDRĪDĀ EPITAKSIJA | 8 |
3. | ĶĪMISKĀS ĀRPUSVAKUUMĀS METODES | 8 |
3.1. | ELEKTROKĪMISKĀ PĀRKLĀJUMU NOGULSNĒŠANĀS | 8 |
3.2. | ĶĪMISKĀ METALIZĀCIJA | 9 |
1.1. | TERMOVAKUMUUĀLĀ APSMIDZINĀŠANA | 10 |
1.2. | PLĀNO PLĒVĪŠU IEGŪSANAS JONU PLAZMAS METODES | 12 |
1.2.1. | КАTODĀ IZSMIDZINĀŠANA | 13 |
1.2.2. | ТRĪSELEKTRODU IZSMIDZINĀŠANAS SISTĒMA | 16 |
1.2.3. | AUGSTFREKVENČU IZSMIDZINĀŠANA | 17 |
1.2.4. | REAKTĪVĀ IZSMIDZINĀŠANA | 19 |
1.2.5. | МAGNETRONĀ IZSMIDZINĀŠANA | 21 |
1.3. | PLĀNO PLĒVĪŠU IEGŪŠANAS JONU STARU METODES | 22 |
1.4. | МOLEKULĀRĀ STARU KŪĻA EPITAKSIJA | 24 |
APSMIDZINĀŠANA AR LĀZERU | 25 | |
2. | VAKUUMA ĶĪMISKĀS METODES | 26 |
2.1. | REAKTĪVĀ KATODU IZSMIDZINĀŠANA | 26 |
2.2. | GĀZFĀŽU MOS-HIDRĪDĀ EPITAKSIJA | 26 |
2.3. | ŠĶIDRĀS FĀZES EPITAKSIJA | 27 |
3. | ĶĪMISKĀS ARPUSVAKUUMĀ METODES | 28 |
3.1. | ELEKTROĶĪMISKĀ PĀRKLĀŠANA | 28 |
ĶĪMISKĀ METALIZĀCIJA | 29 | |
LITERATŪRAS SARAKSTS | 31 | |
SECINĀJUMI | 33 |
DARBA MĒRĶIS: Uz teoretisko un praktisko petījumu par plāno plēvju izsmidzināšanu pamata, izstradāt rekomendācijas, lai uzlabotu šo metodi.
1.Teorētisko aspektu par plāno plēvju izsmidzināšanu ar dažādiem paņēmieniem, izziņa.
2.Vakurma ierīces sastāva izziņa.
3.Plāno plēvju izsmidzināšanas ar vakuuma metodi izziņa.
PĒTĪJUMA METODES:
Teorijas par plāno plēvju izsmidzinšānu ar vakuuma metodi analīze.
VAKUUMS1 (no lat. vacuum — tukšuns) — vide, kas satur gāzi pie spiediena, kas ir zemāks par atmosfēras spiedienu. Vakuums raksturojas ar attiecību starp λ gāzes molekulu brīvā skrējiena garumu un d procesa raksturīgu izmēru. Ar d var tikt pieņemts attālums starp vakuuma kameras sienām, vakuuma caurules diametru u.t.t. Atkarībā no attiecības λ/d lieluma izsķir zemo (λ/d<< 1), videjo (λ/d~1) un augsto (λ/d >>1) vakuumu.
Ir jāizšķir tehniskā un fiziskā vakuuma jēdzienus.
ТEHNISKAIS VAKUUMS1
Praksē ļoti izretinātu gāzi sauc par tehnisko vakuumu. Makroskopiskā apjomā ideālais vakuums nav sasniedzams praksē, jo pie galīgās temperatūras visiem materiāliem ir nenulles piesātinātu tvaiku blīvums. Bez tam daudzi materiāli (tai skaitā biezi metāliskie, stikla un citas trauka sienas) ir gāzes caurlaidīgi. Mikroskopiskos apjomos, tomēr, ideāla vakuuma sasniegšana principā ir iespējama. Vakuuma izretināšanas pakāpes mērs ir gāzes < λ > molekulu brīvā skrējiema garums, kas saistīts ar to, sasvtarpējām sadursmēm gāzē, un rakturīgu līnijveida izmeru/trauku, kurā atrodas gaze.…
Manā darbā aprakstīti pamatā kā fizikālie, tā arī ķīmiskie dati par plāno plēvju iegūšanas metodēm – sākot no termovakuuma izsmidzināšanas beidzot ar ķīmisko metalizāciju. Augstas kvalitātes metāla, dielektriķu un pusvadītāju plānu plēvju iegūšana ir viens no mūslaiku aktuālākajiem uzdevumiem.
- Dzelzceļa vilces aprēķini
- Optiskās šķiedras savienošanas veidi un to klasifikācija
- Plāno plēvīšu uzpūtināšanas metodes
-
Ты можешь добавить любую работу в список пожеланий. Круто!Optiskās šķiedras savienošanas veidi un to klasifikācija
Реферат для университета31
Оцененный! -
Dzelzceļa vilces aprēķini
Реферат для университета18
-
Trieciena impulsa paredzēšana ar konvolūcijas metodēm
Реферат для университета44
-
Induktīva elementa C paškapacitātes mērīšana ar maiņstrāvas tiltiem
Реферат для университета7
-
Kārtošanas algoritms ar binārās ievietošanas metodi
Реферат для университета4